| Název: | Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2 |
| Autoři: | Kolenatý, David |
| Citace zdrojového dokumentu: | LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. [19-20]. ISBN 978-80-261-0365-3. |
| Datum vydání: | 2014 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | konferenční příspěvek conferenceObject |
| URI: | http://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2014.pdf http://hdl.handle.net/11025/21255 |
| ISBN: | 978-80-261-0365-3 |
| Klíčová slova: | plazmová technologie;HfO2;magnetronová depozice |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | plasma technology;HfO2;magnetron deposition |
| Práva: | © Západočeská univerzita v Plzni |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Studentská vědecká konference 2014 Studentská vědecká konference 2014 |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Kolenaty.pdf | Plný text | 555,87 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/21255Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.