Požádat o kopii dokumentu: Understanding ion and atom fluxes during HiPIMS deposition of NbCx films from a compound target

Jméno žadatele:

Email žadatele:

Soubory:

všechny soubory (tohoto dokumentu) mají omezený přístup

soubory, které jste požadovali

Zpráva:

Zrušit Odeslat