Požádat o kopii dokumentu: The importance of discharge voltage in DC magnetron sputtering for energy of sputtered and backscattered atoms on the substrate: Monte-Carlo simulations

Jméno žadatele:

Email žadatele:

Soubory:

všechny soubory (tohoto dokumentu) mají omezený přístup

soubory, které jste požadovali

Zpráva:

Zrušit Odeslat