Full metadata record
DC pole | Hodnota | Jazyk |
---|---|---|
dc.contributor.author | Rezek, Jiří | |
dc.contributor.author | Kozák, Tomáš | |
dc.contributor.author | Kumar, Nirmal | |
dc.contributor.author | Haviar, Stanislav | |
dc.date.accessioned | 2021-03-01T11:00:26Z | - |
dc.date.available | 2021-03-01T11:00:26Z | - |
dc.date.issued | 2021 | |
dc.identifier.citation | REZEK, J., KOZÁK, T., KUMAR, N., HAVIAR, S. Synergy of experiment and model for reactive HiPIMS: effect of discharge parameters on WOx composition and deposition rate. Journal of physics d-applied physics, 2021, roč. 54, č. 12, s. „125202-1“-„125202-11“. ISSN 0022-3727. | cs |
dc.identifier.issn | 0022-3727 | |
dc.identifier.uri | 2-s2.0-85100312652 | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/42776 | |
dc.description.abstract | Bylo provedeno reaktivní vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování vrstev oxidu wolframu. Použit byl kovový wolframový terč (průměr 72 mm) v argon-kyslíkové atmosféře (celkový tlak 0,75 Pa). Byl vyšetřován vliv různých výbojových parametrů na depoziční rychlost a obsah kyslíku ve vrstvě. Navíc byl použit model kombinující model reaktivního vysokovýkonového pulzního naprašování a výbojový model pro ionizační oblast. To umožnilo hlubší vhled na vliv jednotlivých parametrů plazmového výboje, jako je délka pulzu (100–800 µs), parciální tlak kyslíku (0,25–0,50 Pa) nebo hodnota průměrné výkonové hustoty v pulzu (2,5–500 W/cm^2). Jsou diskutovány (a dávány do kontextu s experimentálními daty) výsledky prezentovaného modelu, zejména trendy ve stupni pokrytí terče a substrátu oxidem, složení toků částic na substrát, stupeň ionizace atomů W nebo stupeň disociace molekul O2. | cs |
dc.format | 11 s. | cs |
dc.format.mimetype | application/pdf | |
dc.language.iso | en | en |
dc.publisher | IOP Publishing | en |
dc.relation.ispartofseries | Journal Of Physics D-applied Physics | en |
dc.rights | © IOP Publishing | en |
dc.subject | Model reaktivního HiPIMS | cs |
dc.subject | depoziční rychlost | cs |
dc.subject | oxid wolframu | cs |
dc.title | Synergy of experiment and model for reactive HiPIMS: effect of discharge parameters on WOx composition and deposition rate | en |
dc.title.alternative | Synergie experimentu a modelu pro reaktivní HiPIMS: vliv výbojových parametrů na složení a depoziční rychlost vrstev WOx | cs |
dc.type | článek | cs |
dc.type | article | en |
dc.rights.access | openAccess | en |
dc.type.version | publishedVersion | en |
dc.description.abstract-translated | Reactive high-power impulse magnetron sputtering of tungsten oxide films using metallic tungsten target (72 mm in diameter) in argon-oxygen atmosphere (total pressure of 0.75 Pa) was carried out. The effect of various discharge parameters on the deposition rate and film oxygen concentration was investigated. Moreover, a model combining a reactive HiPIMS model and a discharge plasma model for the ionization region was successfully used for deeper insight into the effect of particular discharge parameters such as voltage pulse length (from 100–800 µs), oxygen partial pressure (from 0.25–0.50 Pa) or the value of pulse-averaged target power density (from 2.5–500 W/cm^2). The results of the presented model, most notably trends in target- and substrate oxide fraction, composition of particle fluxes onto the substrate, degree of W atoms ionization or degree of O2 molecule dissociation are discussed and put into context with experimentally measured quantities. | en |
dc.subject.translated | reactive HiPIMS model | en |
dc.subject.translated | deposition rate | en |
dc.subject.translated | tungsten oxide | en |
dc.identifier.doi | 10.1088/1361-6463/abd1a3 | |
dc.type.status | Peer-reviewed | en |
dc.identifier.document-number | 607945000001 | |
dc.identifier.obd | 43931327 | |
dc.project.ID | GA19-14011S/Design nových funkčních materiálů, a cest pro jejich reaktivní magnetronové naprašování, pomocí pokročilých počítačových simulací | cs |
Vyskytuje se v kolekcích: | Články / Articles (NTIS) Články / Articles (KKY) OBD |
Soubory připojené k záznamu:
Soubor | Velikost | Formát | |
---|---|---|---|
Rezek_2021_J._Phys._D__Appl._Phys._54_125202.pdf | 1,91 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/42776
Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.