Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorKozák, Tomáš
dc.date.accessioned2023-05-15T10:00:18Z-
dc.date.available2023-05-15T10:00:18Z-
dc.date.issued2023
dc.identifier.citationKOZÁK, T. Particle-based simulation of atom and ion transport in HiPIMS: effect of the plasma potential distribution on the ionized flux fraction. PLASMA SOURCES SCIENCE & TECHNOLOGY, 2023, roč. 32, č. 3, s. "035007-1" - "035007-16". ISSN: 0963-0252cs
dc.identifier.issn0963-0252
dc.identifier.uri2-s2.0-85151619056
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/51881
dc.description.abstractPředstavujeme 3D částicovou simulaci vysokovýkonového pulzního magnetronového výboje, která umožňuje simulovat pohyb atomů a iontů ve výboji a související parametry plazmatu. Simulace je pomocí numerického algoritmu řízena tak, aby bylo dosaženo zadaného průběhu proudu na terč. Tím je zaručeno, že výsledky simulace odpovídají experimentálním výbojovým podmínkám. Provedené simulace rozprašování Ti terče ukazují vypočtené prostorové rozložení atomů a iontů Ti a také umožňují kvantifikovat efekt zředění pracovního plynu. Pomocí simulace byla vyčíslena pravděpodobnost návratu iontů Ti na terč a stupeň ionizace Ti v toku na substrát pro různé hodnoty gradientu potenciálu plazmatu před terčem, který je zodpovědný za přitahování iontů směrem k terči.cs
dc.format16 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherInstitute of Physicsen
dc.relation.ispartofseriesPlasma Sources Science & Technologyen
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© IOP Publishing Ltd.en
dc.subjectHiPIMScs
dc.subjectmangetronové naprašovánícs
dc.subjectsimulace plazmatucs
dc.subjectDSMCcs
dc.subjectstupeň ionizacecs
dc.subjectpravděpodobnost návratu iontůcs
dc.titleParticle-based simulation of atom and ion transport in HiPIMS: effect of the plasma potential distribution on the ionized flux fractionen
dc.title.alternativeSimulace transportu atomů a iontů v HiPIMS výboji: vliv rozložení potenciálu plazmatu na stupeň ionizace depozičního tokucs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedWe present a three-dimensional particle-based computer simulation of high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) discharges which enables us to simulate the transport of atoms and ions in the discharge and the corresponding plasma parameters. A numerical algorithm is used to constrain the simulation by an experimental target current waveform, which ensures that the simulation results are closely tied to the experimental discharge conditions. Simulations of a HiPIMS discharge with Ti target show the capability to calculate the spatial distributions of target material atoms and ions and also to quantify the process-gas rarefaction. We evaluated, among others, the ion return probability and the ionized fraction of the target material flux onto the substrate for various values of the potential difference across the magnetic presheath in front of the target racetrack, which is responsible for attracting most of the plasma ions towards the target.en
dc.subject.translatedHiPIMSen
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedplasma simulationen
dc.subject.translatedDSMCen
dc.subject.translatedionized fraction, ion return probabilityen
dc.identifier.doi10.1088/1361-6595/acc549
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.document-number962002200001
dc.identifier.obd43939385
dc.project.ID90140/Velká výzkumná infrastruktura_(J) - e-INFRA CZcs
Appears in Collections:Články / Articles (NTIS)
OBD

Files in This Item:
File SizeFormat 
OBD23_Kozak_clanek.pdf8,7 MBAdobe PDFView/Open    Request a copy
Show simple item record


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/51881

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD