Full metadata record
DC pole | Hodnota | Jazyk |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Musil, Jindřich | |
dc.contributor.advisor | Jílek, Richard | |
dc.contributor.author | Jaroš, Martin | |
dc.contributor.referee | Houška, Jiří | |
dc.date.accepted | 2014-08-28 | |
dc.date.accessioned | 2015-03-25T09:28:07Z | - |
dc.date.available | 2013-05-01 | cs |
dc.date.available | 2015-03-25T09:28:07Z | - |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.date.submitted | 2014-08-05 | |
dc.identifier | 60528 | |
dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/12672 | |
dc.description.abstract | Předmětem této práce bylo vytvoření tenkých vrstev materiálu na bázi Ti-Ni-N, které byly připraveny pomocí reaktivního magnetronového naprašování s využitím duálního magnetronu. U série 1 byl zkoumán vliv opakovací frekvence fr na mechanické vlastnosti tenkých vrstev Ti-Ni-N. U série 2 a 3 byl zkoumán vliv napětí na substrátu Us. Série 3 obsahuje navíc (oproti sérii 2) kovovou mezivrstvu Ti-Ni-N. U série 1 bylo zjištěno, že s přibývající hodnotou opakovací frekvence dochází k poklesu indentační tvrdosti. Pro série 2 a 3 platí, že vrstvy u kterých je jejich poměr H/E* 0,1 a elastická vratnost We > 60 % vykazují vyšší odolnost proti vzniku trhlin. Přičemž jejich indentační tvrdost přesahuje hodnotu H > 25 GPa. | cs |
dc.format | 68 s. | cs |
dc.format.mimetype | application/pdf | |
dc.language.iso | cs | cs |
dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
dc.relation.isreferencedby | https://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=60528 | - |
dc.rights | Plný text práce je přístupný bez omezení. | cs |
dc.subject | reaktivní magnetronové naprašování | cs |
dc.subject | Ti-Ni-N | cs |
dc.subject | tenké vrstvy | cs |
dc.subject | odolnost proti vzniku trhlin | cs |
dc.title | Reaktivní magnetronová depozice vrstev Ti-Ni-N a vyšetření jejich vlastností | cs |
dc.title.alternative | Reactive magnetron sputtering of Ti-Ni-N films and examination of their properties | en |
dc.type | diplomová práce | cs |
dc.thesis.degree-name | Ing. | cs |
dc.thesis.degree-level | Navazující | cs |
dc.thesis.degree-grantor | Západočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd | cs |
dc.description.department | Katedra fyziky | cs |
dc.thesis.degree-program | Aplikované vědy a informatika | cs |
dc.description.result | Obhájeno | cs |
dc.rights.access | openAccess | en |
dc.description.abstract-translated | The subject of this paper was deposition thin Ti-Ni-N films, which were prepared by reactive magnetron sputtering with dual magnetron system. The influence of repetition frequency on the properties of deposited Ti-Ni-N films was investigated in series 1. The influence of substrate bias on the properties of deposited Ti-Ni-N films was investigated in series 2 and also in series 3. Compared series 2, series 3 additionally contains a metallic interlayer of Ti-Ni. It has been found that thin films sputtered in series 1 at higher repetition frequency exhibit lower hardness. In series 2 and 3 experiments demonstrate that the TiNiN films prepared with high ratio H/E* 0,1 and high elastic recovery We > 60 % exhibit an enhanced resistance against cracking in bending. These coatings are simultaneously hard H > 25 GPa. | en |
dc.subject.translated | reactive magnetron sputtering | en |
dc.subject.translated | Ti-Ni-N | en |
dc.subject.translated | thin films | en |
dc.subject.translated | resistance to cracking | en |
Vyskytuje se v kolekcích: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
---|---|---|---|---|
Diplomova prace Martin Jaros.pdf | Plný text práce | 1,46 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Jaros_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 509,06 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Jaros_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 1,2 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Jaros_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 212,35 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/12672
Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.