Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.advisorMusil, Jindřich
dc.contributor.advisorJílek, Richard
dc.contributor.authorČiperová, Zuzana
dc.contributor.refereeBaroch, Pavel
dc.date.accepted2014-06-24
dc.date.accessioned2015-03-25T09:46:42Z-
dc.date.available2013-05-01cs
dc.date.available2015-03-25T09:46:42Z-
dc.date.issued2014
dc.date.submitted2014-05-29
dc.identifier60527
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/14690
dc.description.abstractPředmětem této práce bylo vytvoření tří tenkých vrstev Ti-Ni-N pomocí reaktivního magnetronového naprašování. Byl zkoumán vliv parciálního tlaku dusíku na strukturu, depoziční rychlost, lineární drsnost a mechanické vlastnosti připravených vrstev. Vrstvy byly připraveny v DC režimu za použití dvou titan-niklových terčů. Vzdálenost terčů od substrátů byla nastavena na dS-T = 60 mm, teplota na substrátu byla při všech depozicích Ts = 500 °C, proud na magnetronech byl nastaven na Id = 0,5 A a substráty byly na plovoucím potenciálu. Proměnným parametrem byl parciální tlak dusíku pN2 (postupně 0; 0,2 a 0,8 Pa). Bylo zjištěno, že depoziční rychlost aD s parciálním tlakem dusíku pN2 klesá od 60 na 15,3 nmmin-1. RTG difrakce prokázala u vrstvy 1 (pN2 = 0 Pa) přítomnost fáze hexagonálního alfa-Ti a méně výrazné reflexe fáze kubického Ti2Ni. U vrstvy 2 (pN2 = 0,2 Pa) se vedle hexagonální alfa-Ti fáze projevuje kubická Ti-N fáze, která byla detekována také u vrstvy 3 (pN2 = 0,8 Pa). Velikosti lineární drsnosti Ra se pohybují u vrstev 1 a 3 mezi 6 a 7 nm, což odpovídá kovovému (vrstva 1) a keramickému povrchu (vrstva 3), u vrstvy 2 je Ra = 31,6 nm. Relativně vysoké hodnoty mechanických vlastností byly naměřeny pro vrstvu 3: tvrdost H = 20,2 GPa, efektivní Youngův modul pružnosti E* = 247,1 GPa, elastická vratnost We = 58,1 %; vnitřní pnutí = -0,03 GPa.cs
dc.format35 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.relation.isreferencedbyhttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=60527-
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.subjectReaktivní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectTi-Ni-Ncs
dc.subjectmechanické vlastnostics
dc.titleReaktivní magnetronové naprašování vrstev Ti-Ni-Ncs
dc.title.alternativeReactive magnetron sputtering of Ti-Ni-N thin filmsen
dc.typebakalářská prácecs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.description.resultObhájenocs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.description.abstract-translatedSubject of the thesis was reactive magnetron sputtering of three Ti-Ni-N thin films. The work focuses on the influence of partial pressure of nitrogen on the deposition rate, the roughness and the mechanical properties of deposited thin films. The thin films were prepared in DC mode using two titanium-nickel targets. Distance between targets and substrates was dS-T = 60 mm, temperature on substrate was Ts = 500 °C during every deposition, electrical current on the magnetrons was set on Id = 0,5 A and the substrates were on floating potential. The variable parameter was partial pressure of nitrogen pN2 (0; 0,2 and 0,8 Pa). It was found out that the deposition rate aD is degreasing with partial pressure of nitrogen pN2 from 60 to 15,3 nmmin-1. X-ray diffraction analysis revealed hexagonal alpha-Ti phase and less distinct phase of cubic Ti2Ni in thin film 1 (pN2 = 0 Pa). In thin film 2 (pN2 = 0,2 Pa), there was revealed hexagonal alpha-Ti and cubic Ti-N, which was detected in thin film 3 (pN2 = 0,8 Pa) also. Values of roughness Ra range between 6 and 7 nm for films 1 and 3, what does fit to metal (film 1) and ceramic surface (film 3), in film 2 Ra = 31,6 nm. Relatively high mechanical properties were measured for film 2: hardness H = 20,2 GPa, effective Young's modulus E* = 247,1 GPa, elastic recovery We = 58,1 %, microstress = -0,03 GPa.en
dc.subject.translatedReactive magnetron sputteringen
dc.subject.translatedTi-Ni-Nen
dc.subject.translatedmechanical propertiesen
Vyskytuje se v kolekcích:Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY)

Soubory připojené k záznamu:
Soubor Popis VelikostFormát 
ciperova_bakalarska prace.pdfPlný text práce1,24 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Ciperova_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce273,79 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Ciperova_oponent.pdfPosudek oponenta práce837,37 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít
Ciperova_obhajoba.pdfPrůběh obhajoby práce208,75 kBAdobe PDFZobrazit/otevřít


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/14690

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.