Název: | Simulace napouštění reaktivního plynu do vakuové komory |
Autoři: | Krejčová, Milada Kozák, Tomáš |
Citace zdrojového dokumentu: | LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2015, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2015, s. 23-24. ISBN 978-80-261-0505-3. |
Datum vydání: | 2015 |
Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
Typ dokumentu: | konferenční příspěvek conferenceObject |
URI: | http://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2015.pdf http://hdl.handle.net/11025/21311 |
ISBN: | 978-80-261-0505-3 |
Klíčová slova: | magnetronové naprašování;simulace |
Klíčová slova v dalším jazyce: | magnetron sputtering;simulation |
Práva: | © Západočeská univerzita v Plzni |
Vyskytuje se v kolekcích: | Studentská vědecká konference 2015 Studentská vědecká konference 2015 |
Soubory připojené k záznamu:
Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
---|---|---|---|---|
Krejcova.pdf | Plný text | 353,58 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/21311
Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.