Full metadata record
DC poleHodnotaJazyk
dc.contributor.authorVlček, Jaroslav
dc.contributor.authorKolenatý, David
dc.contributor.authorKozák, Tomáš
dc.contributor.authorHouška, Jiří
dc.contributor.authorČapek, Jiří
dc.contributor.authorKos, Šimon
dc.date.accessioned2019-02-04T11:00:17Z-
dc.date.available2019-02-04T11:00:17Z-
dc.date.issued2019
dc.identifier.citationVLČEK, J., KOLENATÝ, D., KOZÁK, T., HOUŠKA, J., ČAPEK, J., KOS, Š. Ion-flux characteristics during low-temperature (300 °C) deposition of thermochromic VO2 films using controlled reactive HiPIMS. JOURNAL OF PHYSICS D-APPLIED PHYSICS, 2019, roč. 52, č. 2, s. „025205-1“-„025205-9“. ISSN: 0022-3727en
dc.identifier.issn0022-3727
dc.identifier.uri2-s2.0-85056719206
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/30917
dc.description.abstractCharakteristiky iontových toků na pozici substrátu a odpovídající výbojové charakteristiky byly vyšetřovány pro řízené nízkoteplotní (300 °C) reaktivní HiPIMS depozice termochromických VO2 vrstev na konvenční sodnovápenaté skleněné substráty bez přivedeného předpětí na substrát a bez jakékoliv mezivrstvy. Bylo ukázáno, že fázové složení vrstev korelovalo s iontovým podílem (V+ + V2+) a s poměrem iontů (V+ + V2+):(2O2+ + O+) v celkovém iontovém toku na substrát. Nastavení množství kyslíku v plynné směsi umožnilo řídit nejen fázové složení vrstev, ale také jejich krystalinitu. Bylo zjištěno, že vhodné složení celkového iontového toku a vysoké energie iontů (až 50 eV vůči zemi) podpořily krystalizaci termochromické fáze ve VO2 vrstvách. Dosáhli jsme vysoké modulace transmitance pro vlnovou délku 2500 nm (mezi 51 % a 8 %) a elektrické rezistivity (změna 350×) VO2 vrstvy o tloušťce 88 nm.cs
dc.format9 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isoenen
dc.publisherIOP Publishingen
dc.rightsPlný text není přístupný.cs
dc.rights© IOP Publishingen
dc.subjectHiPIMScs
dc.subjectTermochromické VO2cs
dc.subjectHmotnostní spektroskopiecs
dc.subjectCharakteristiky iontového tokucs
dc.subjectPulzní řízenícs
dc.titleIon-flux characteristics during low-temperature (300 °C) deposition of thermochromic VO2 films using controlled reactive HiPIMSen
dc.title.alternativeCharakteristiky iontového toku během nízkoteplotní (300 °C) depozice termochromických VO2 vrstev pomocí řízeného reaktivního HiPIMScs
dc.typečlánekcs
dc.typearticleen
dc.rights.accessclosedAccessen
dc.type.versionpublishedVersionen
dc.description.abstract-translatedThe ion-flux characteristics at a substrate position and the corresponding discharge characteristics were investigated during controlled low-temperature (300 °C) reactive HiPIMS depositions of thermochromic VO2 films onto conventional soda-lime glass substrates without any substrate bias voltage and without any interlayer. It was shown that the phase composition of the films correlates with the (V+ + V2+) ion fraction and the (V+ + V2+):(2O2+ + O+) ion ratio in the total ion flux onto the substrate. Setting the amount of oxygen in the gas mixture allowed us to control not only the phase composition of the films but also their crystallinity. It was found that an appropriate composition of the total ion flux and high ion energies (up to 50 eV relative to ground potential) support the crystallization of the thermochromic phase in the VO2 films. We achieved a high modulation of the transmittance at 2500 nm (between 51% and 8%) and of the electrical resistivity (changed 350 times) for a 88 nm thick VO2 film.en
dc.subject.translatedHiPIMSen
dc.subject.translatedThermochromic VO2en
dc.subject.translatedMass spectroscopyen
dc.subject.translatedIon-flux characteristicsen
dc.subject.translatedPulsed controlen
dc.identifier.doi10.1088/1361-6463/aae9c6
dc.type.statusPeer-revieweden
dc.identifier.document-number449372400002
dc.identifier.obd43924477
dc.project.IDGA17-08944S/Nanostrukturní povlaky syntetizované užitím vysoce reaktivního pulzního plazmatucs
Vyskytuje se v kolekcích:Články / Articles (MMI)
OBD

Soubory připojené k záznamu:
Soubor VelikostFormát 
OBD19_Vlcek,Kolenaty,Kozak_clanek.pdf1,93 MBAdobe PDFZobrazit/otevřít  Vyžádat kopii
Zobrazit minimální záznam Zobrazit statistiky


Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam: http://hdl.handle.net/11025/30917

Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.

hledání
navigace
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Publikační činnost / Publications
  3. OBD