Title: | Interrelationships among macrostress, microstructure and mechanical behavior of sputtered hard Ti(Al,V)N films |
Other Titles: | Vzájemné vztahy mezi pnutím, mikrostrukturou a mechanickým chováním naprašovaných tvrdých Ti(Al,V)N vrstev |
Authors: | Jaroš, Martin Musil, Jindřich Haviar, Stanislav |
Citation: | JAROŠ, M., MUSIL, J., HAVIAR, S. Interrelationships among macrostress, microstructure and mechanical behavior of sputtered hard Ti(Al,V)N films. MATERIALS LETTERS, 2019, roč. 235, č. 15 JAN 2019, s. 92-96. ISSN: 0167-577X |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | Elsevier |
Document type: | článek article |
URI: | 2-s2.0-85054318792 http://hdl.handle.net/11025/30919 |
ISSN: | 0167-577X |
Keywords: | Ti(Al,V)N vrstvy;tvrdost;pnutí;energie;mikrostruktura;struktura;mechanické vlastnost;odolnost vůči vzniku trhlin |
Keywords in different language: | Ti(Al, V)N films;Hardness;Macrostress;Energy;Microstructure;Structure;Mechanical properties;Resistance to cracking |
Abstract: | Článek pojednává o vlivu kompresního pnutí ve vrstvách Ti(Al,V)N na jejich mechanické vlastnosti, strukturu, mikrostrukturu a odolnost vůči vzniku trhlin. Pnutí je kontrolováno energií Ebi dodanou do rostoucí vrstvy bombardujícími ionty. Ti(Al,V)N vrstvy byly naprašovány duálním magnetronem s uzavřeným magnetickým polem. Je ukázáno, že (1) kompresní pnutí zvyšuje tvrdost H vrstvy a poměr H/E*, (2) vrstvy vykazují hustou nekolumnární strukturu bez pórů, pokud energie Ebi ≥ 3 MJ/cm^3, (3) zvýšená odolnost vůči vzniku trhlin je řízena mechanickými vlastnostmi, mikrostrukturou a pnutím. |
Abstract in different language: | The article reports on the influence of a compressive macrostress in the Ti(Al,V)N films on their mechanical properties, structure, microstructure, and resistance to cracking. The macrostress is controlled by the energy Ebi delivered into the growing film by bombarding ions. The Ti(Al,V)N films were sputtered by a dual magnetron with closed magnetic field. It is shown that (1) the compressive macrostress increases the hardness H of the film and the ratio H/E*, (2) the films exhibits a dense, voids-free, non-columnar microstructure in the case when energy Ebi ≥ 3 MJ/cm^3, (3) the enhanced resistance to cracking of the films is controlled by its mechanical properties, microstructure and macrostress. |
Rights: | Plný text není přístupný. © Elsevier |
Appears in Collections: | Články / Articles (MMI) OBD |
Files in This Item:
File | Size | Format | |
---|---|---|---|
OBD19_Jaros,Musil,Haviar_clanek.pdf | 1,14 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/30919
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.