Title: | Tribological properties and oxidation resistance of tungsten and tungsten nitride films at temperatures up to 500 °C |
Other Titles: | Tribologické vlastnosti a oxidační odolnost tenkých vrstev wolframu a nitridu wolframu měřené při teplotách do 500°C |
Authors: | Javdošňák, Daniel Musil, Jindřich Soukup, Zbyněk Haviar, Stanislav Čerstvý, Radomír Houška, Jiří |
Citation: | JAVDOŠŇÁK, D., MUSIL, J., SOUKUP, Z., HAVIAR, S., ČERSTVÝ, R., HOUŠKA, J. Tribological properties and oxidation resistance of tungsten and tungsten nitride films at temperatures up to 500 °C. Tribology international, 2019, roč. 132, č. Apr 2019, s. 211-220. ISSN 0301-679X. |
Issue Date: | 2019 |
Publisher: | Elsevier |
Document type: | článek article |
URI: | 2-s2.0-85058970919 http://hdl.handle.net/11025/31162 |
ISSN: | 0301-679X |
Keywords: | vysokoteplotní lubrikace;tvrdé tenké vrstvy;měření koeficientu tření;měření rychlosti opotřebení |
Keywords in different language: | High temperature lubrication;Hard thin films;Friction measurement;Wear measurement |
Abstract: | Článek se zabývá strukturou, mikrostrukturou, mechanickými a tribologickými vlastnostmi a oxidační odolností WNx tenkých vrstev připravených magnetronovým naprašováním se stechiometrií x = [N]/[W] v rozsahu od 0 do 1,5. Zjistilo se, že (i) vrstvy s x ≤ 0,20 vykazují α-W strukturu se sloupcovou mikrostrukturou, zatímco vrstvy s x ≥ 0,27 vykazují β-W2N nebo δ-WN strukturu a jemnozrnnou mikrostrukturu, (ii) tvrdost H a poměr tvrdosti k efektivnímu Youngově modulu H/E* silně ovlivňuje tribologické vlastnosti vrstev. Dále jsme vyšetřovali a diskutovali, jak jsou tribologické vlastnosti ovlivněny vlhkostí okolního vzduchu a oxidací vrstev. Oxidace vrstev je hodnocena na základě tloušťky vzniklé vrstvy WO3 na povrchu WNx vrstvy a ukazuje se, že je výrazně odlišná u vrstev WNx s x ≤ 0,20 a x ≥ 0,27. |
Abstract in different language: | The paper reports on the structure, microstructure, mechanical and tribological properties and oxidation resistance of WNx films with a stoichiometry x = [N]/[W] ranging from 0 to 1.5 prepared by magnetron sputtering. It was found that (i) films with x ≤ 0.20 exhibit α-W structure and columnar microstructure, while films with x ≥ 0.27 exhibit β-W2N or δ-WN structure and fine-grained microstructure, (ii) the hardness H and hardness to effective Young's modulus H/E* strongly affect the tribological properties of the films. Furthermore, we investigate and discuss how the tribological properties are affected by the humidity and by the film oxidation. The oxidation is expressed in terms of the thickness of the WO3 scale, and is shown to be significantly different for x ≤ 0.20 and x ≥ 0.27 WNx films. |
Rights: | Plný text není přístupný. © Elsevier |
Appears in Collections: | Články / Articles (KFY) OBD |
Files in This Item:
File | Size | Format | |
---|---|---|---|
OBD19_Javdosnak,Musil,Soukup_et_al_clanek.pdf | 5,6 MB | Adobe PDF | View/Open Request a copy |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/31162
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.