| Název: | Vyšetřování optických a strukturních vlastností tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem |
| Autoři: | Polák, Michal |
| Vedoucí práce/školitel: | Rezek Jiří, Ing. Ph.D. |
| Oponent: | Rusňák Karel, Doc. RNDr. CSc. |
| Datum vydání: | 2024 |
| Nakladatel: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Typ dokumentu: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/57323 |
| Klíčová slova: | tco;transparentní vodivé oxidy;cu2o;reaktivní magnetronové naprašování;elipsometrie;ramanova spektroskopie |
| Klíčová slova v dalším jazyce: | tco;transparent conductive oxides;cu2o;reactive magnetron sputtering;ellipsometry;raman spectroscopy |
| Abstrakt: | Tato bakalářská práce se zabývá zkoumáním optických a strukturních vlastností transparentních vodivých oxidů (TCO; transparent conductive oxides), specificky oxidů mědi dopovaných dusíkem. Jsou vysvětleny základy problematiky TCO a metody měření vlastností těchto materiálů, konkrétně elipsometrie a Ramanova spektroskopie. Tyto metody jsou použity na změření vlastností vzorků tenkých vrstev Cu\dindex{2}O dopovaných dusíkem, vyrobených reaktivním magnetronovým naprašováním při rozdílných vstupních podmínkách (teplota výroby, průtok reaktivního plynu). Pro práci jsou důležité primárně hodnoty indexu lomu vrstev, extinkčního koeficientu, šířky zakázaného pásu, a polohy píků Ramanova spektra vzorků, to vše v závislosti na energii světla interagujícího s tenkou vrstvou. Různé podmínky výroby materiálu mohou měnit vnitřní strukturu vrstvy a tím průběh výsledných závislostí zkoumaných parametrů. Jsou porovnávány zjištěné hodnoty všech veličin a změny vlastností v závislosti na výrobních podmínkách, mezi sebou i s dalšími pracemi publikovanými o podobných materiálech. |
| Abstrakt v dalším jazyce: | This bachelor thesis examines optical and structural properties of transparent conductive oxides (TCO), particularly copper oxides enhanced with nitrogen atoms. Basics of TCO theory and techniques for measuring their parameters are explained, specifically ellipsometry and Raman spectroscopy. Those are then used to measure the properties of thin film samples of nitrogen enhanced Cu\dindex{2}O, created by reactive magnetron sputtering with several different manufacturing conditions (temperature, reactive gas flow rate). The most important parameters for this work are the refraction index, extinction coefficient, band gap energy and Raman peaks, with everything depending on the energy of the light interacting with the used thin film. Different manufacturing conditions can produce a difference in the inner structure of the film and thus change the functions of the examined parameters. The measured data and their potential differences are analyzed and compared between both the different samples and potential literature covering similar materials. |
| Práva: | Plný text práce je přístupný bez omezení |
| Vyskytuje se v kolekcích: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Soubory připojené k záznamu:
| Soubor | Popis | Velikost | Formát | |
|---|---|---|---|---|
| Bc_prace_Polak.pdf | Plný text práce | 3,31 MB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| BP_Polak_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 43,32 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| BP_Polak_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 429,47 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
| ProtokolSPrubehemObhajobySTAG.pdf | Průběh obhajoby práce | 38,18 kB | Adobe PDF | Zobrazit/otevřít |
Použijte tento identifikátor k citaci nebo jako odkaz na tento záznam:
http://hdl.handle.net/11025/57323Všechny záznamy v DSpace jsou chráněny autorskými právy, všechna práva vyhrazena.