| Title: | Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro oblast PV |
| Other Titles: | Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for the PV |
| Authors: | Kocourek, Lukáš |
| Advisor: | Calta, Pavel |
| Referee: | Vavruňková, Veronika |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/12389 |
| Keywords: | fotovoltaika;tenká vrstva;Si/SiO2;superstruktura;optické a strukturní vlastnosti;depozice;depoziční aparatura;polovodičová technika;FTIR;Ramanova spektroskopie;PECVD;PVD |
| Keywords in different language: | photovoltaics;thin film;Si/SiO2;superstructures;optical and structural properties;deposition;deposition equipment;semiconductortechnique;FTIR;Raman spectroscopy;PECVD;PVD. |
| Abstract: | Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni. |
| Abstract in different language: | This diploma thesis "Preparation and study of silicon multilayer superstructures a-Si:H/SiO2 for PV" deals with the techniques of thin films (PVD, CVD, PECVD), methods of their identification (optical and structural analysis) using Raman spectroscopy, FTIR, XRD, UV-Vis spectrophotometry and spectroscopic ellipsometry. The practical part of this work describes the preparation of substrates and multilayered samples, subsequent their annealing and analysis (of the above methods). For this research, there were used facilities at NTC of University of West Bohemia in Pilsen. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KET) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| DP_Kocourek_Lukas.pdf | Plný text práce | 11,94 MB | Adobe PDF | View/Open |
| 058631_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 382,76 kB | Adobe PDF | View/Open |
| 058631_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 381,54 kB | Adobe PDF | View/Open |
| 058631_hodnoceni.pdf | Průběh obhajoby práce | 207,19 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/12389Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.