| Title: | Reaktivní magnetronová depozice vrstev Ti-Ni-N a vyšetření jejich vlastností |
| Other Titles: | Reactive magnetron sputtering of Ti-Ni-N films and examination of their properties |
| Authors: | Jaroš, Martin |
| Advisor: | Musil, Jindřich Jílek, Richard |
| Referee: | Houška, Jiří |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | diplomová práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/12672 |
| Keywords: | reaktivní magnetronové naprašování;Ti-Ni-N;tenké vrstvy;odolnost proti vzniku trhlin |
| Keywords in different language: | reactive magnetron sputtering;Ti-Ni-N;thin films;resistance to cracking |
| Abstract: | Předmětem této práce bylo vytvoření tenkých vrstev materiálu na bázi Ti-Ni-N, které byly připraveny pomocí reaktivního magnetronového naprašování s využitím duálního magnetronu. U série 1 byl zkoumán vliv opakovací frekvence fr na mechanické vlastnosti tenkých vrstev Ti-Ni-N. U série 2 a 3 byl zkoumán vliv napětí na substrátu Us. Série 3 obsahuje navíc (oproti sérii 2) kovovou mezivrstvu Ti-Ni-N. U série 1 bylo zjištěno, že s přibývající hodnotou opakovací frekvence dochází k poklesu indentační tvrdosti. Pro série 2 a 3 platí, že vrstvy u kterých je jejich poměr H/E* 0,1 a elastická vratnost We > 60 % vykazují vyšší odolnost proti vzniku trhlin. Přičemž jejich indentační tvrdost přesahuje hodnotu H > 25 GPa. |
| Abstract in different language: | The subject of this paper was deposition thin Ti-Ni-N films, which were prepared by reactive magnetron sputtering with dual magnetron system. The influence of repetition frequency on the properties of deposited Ti-Ni-N films was investigated in series 1. The influence of substrate bias on the properties of deposited Ti-Ni-N films was investigated in series 2 and also in series 3. Compared series 2, series 3 additionally contains a metallic interlayer of Ti-Ni. It has been found that thin films sputtered in series 1 at higher repetition frequency exhibit lower hardness. In series 2 and 3 experiments demonstrate that the TiNiN films prepared with high ratio H/E* 0,1 and high elastic recovery We > 60 % exhibit an enhanced resistance against cracking in bending. These coatings are simultaneously hard H > 25 GPa. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Diplomové práce / Theses (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Diplomova prace Martin Jaros.pdf | Plný text práce | 1,46 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Jaros_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 509,06 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Jaros_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 1,2 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Jaros_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 212,35 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/12672Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.