| Title: | Multikomponentní keramické vrstvy připravené pulzním magnetronovým naprašováním |
| Other Titles: | Multicomponent ceramic films prepared by pulsed magnetron sputtering |
| Authors: | Kubásek, Tomáš |
| Advisor: | Mareš, Pavel |
| Referee: | Soukup, Zbyněk |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/17811 |
| Keywords: | vrstvy m-b-c-n;nanokompozitní materiály;pulzní magnetronové naprašování;tvrdost;vnitřní pnutí |
| Keywords in different language: | m-b-c-n films;nanocomposite materials;pulsed magnetron sputtering;hardness;internal stress |
| Abstract: | Tato práce se zabývá tvrdými multikomponentními tenkými vrstvami M-B-C-N (M = Ti, Zr, Hf) připravenými pulzním magnetronovým naprašováním. Celkem byly připraveny čtyři vrstvy. Měřena byla jejich prvková a fázová složení, mechanické vlastnosti a elektrická rezistivita. Cílem práce bylo prozkoumat, jaký má vliv volba přechodového kovu M na strukturu a vlastnosti materiálu. Bylo zjištěno, že přechod od Ti k Zr a Hf vede k utváření tuhých roztoků MBxCyN1 x y a amorfní struktura Ti-B-C-N přechází v nanokrystalické Zr-B-C-N a Hf-B-C-N. Touto přeměnou se zvyšuje tvrdost, poměr H/E* a elastická vratnost vrstev. Vrstvy vykazovaly nízké vnitřní pnutí a vysokou elektrickou vodivost. |
| Abstract in different language: | This thesis deals with hard multicomponent thin films M-B-C-N (M = Ti, Zr, Hf) prepared by pulsed magnetron sputtering. Four films in total were created and their elemental and structural compositions, mechanical properties and electrical resistivity were measured. The focus of this paper was to examine the effect of the choice of transition metal M on material structure and properties. It was found that the transition from Ti to Zr and Hf leads to forming of solid solutions MBxCyN1 x y and the amorphous Ti-B-C-N transforms to nanocrystalline Zr-B-C-N and Hf-B-C-N. This change in structure leads to increased hardness, H/E* ratio and elastic recovery of the films. All materials exhibited low internal stress and high electrical conductivity. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| A12B0597P_BP.pdf | Plný text práce | 5,11 MB | Adobe PDF | View/Open |
| vedouci-Kubasek_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 314,18 kB | Adobe PDF | View/Open |
| oponent-Kubasek_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 634,87 kB | Adobe PDF | View/Open |
| obhajoba-Kubasek_obhajoba.pdf | Průběh obhajoby práce | 236,71 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/17811Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.