| Title: | Reaktivní vysokovýkonová pulzní magnetronová depozice vrstev HfO2 |
| Authors: | Kolenatý, David |
| Citation: | LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. [19-20]. ISBN 978-80-261-0365-3. |
| Issue Date: | 2014 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | konferenční příspěvek conferenceObject |
| URI: | http://svk.fav.zcu.cz/download/sbornik_svk_2014.pdf http://hdl.handle.net/11025/21255 |
| ISBN: | 978-80-261-0365-3 |
| Keywords: | plazmová technologie;HfO2;magnetronová depozice |
| Keywords in different language: | plasma technology;HfO2;magnetron deposition |
| Rights: | © Západočeská univerzita v Plzni |
| Appears in Collections: | Studentská vědecká konference 2014 Studentská vědecká konference 2014 |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kolenaty.pdf | Plný text | 555,87 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/21255Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.