Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorŠula, Michal
dc.contributor.authorKozák Tomáš, Ing. Ph.D.
dc.contributor.refereeKos Šimon, Doc. Mgr. Ph.D.
dc.date.accepted2016-8-31
dc.date.accessioned2017-02-21T08:28:26Z-
dc.date.available2015-5-1
dc.date.available2017-02-21T08:28:26Z-
dc.date.issued2016
dc.date.submitted2016-5-27
dc.identifier68831
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/23705
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce se zabývá, v úvodu, shrnutím současného stavu technologie reaktivního magnetronového naprašování. Stručně prochází historický vývoj, moderní poznatky a problémy naprašovacího procesu. V další části práce je popsán přístup k numerické simulaci transportu reaktivního plynu uvnitř vakuové komory pomocí Monte Carlo metod. Následně je popsán návrh algoritmu numerické simulace transportu částic a příslušný užitý matematický model, při uvažování pouze kinetických interakcí reakčního plynu, a zanedbání vlivu přítomnosti plazmatu během naprašovacího procesu. Na konci práce jsou prezentovány výsledky simulací a diskuze, rozebírající vliv tlaku, velikosti průtoku a vzdálenosti výpusti napouštěcího zařízení reaktivního plynu na prostorové rozložení hustoty reaktivního plynu a rozložení dopadů na substrát a terč ve stacionárním stavu.cs
dc.format62 s. (63 000 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.subjectreaktivní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectmonte carlo metodacs
dc.subjectnumerická simulace transportu za nízkého tlakucs
dc.titleMonte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstevcs
dc.title.alternativeMonte Carlo simulation of reactive gas transport in reactive magnetron sputteringen
dc.typediplomová prácecs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.description.resultObhájenocs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.description.abstract-translatedThe presented diploma thesis, at the beginning, focuses on the theory reactive magnetron sputtering. It briefly discusses historical development, modern trends and possible issues with the application of the technology. In the next part, it describes a model using Monte Carlo methods for numerical simulation of the problem of reactive gas transport inside a vacuum chamber. The model assumes only kinetic interactions between the inert gas and the reactive gas in the vacuum chamber, and omits effects of plasma discharge induced in the chamber. In the next part, an algorythm, used for the gas transport simulation, is discussed and presented. In the final chapter, results from the numerical simulations are presented, and influence of gas pressure, flow rate of the reactive gas and the distance of the reactive gas inlet from the target are discussed.en
dc.subject.translatedreactive magnetron sputteringen
dc.subject.translatedmonte carlo methoden
dc.subject.translatednumerical simulation of reactive gas transport in a vacuum chamberen
Appears in Collections:Diplomové práce / Theses (KFY)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
sulam_dp.pdfPlný text práce2,57 MBAdobe PDFView/Open
Sula_vedouci.pdfPosudek vedoucího práce406,08 kBAdobe PDFView/Open
Sula_oponent.pdfPosudek oponenta práce2,42 MBAdobe PDFView/Open
Sula_otazky.pdfPrůběh obhajoby práce249,6 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Please use this identifier to cite or link to this item: http://hdl.handle.net/11025/23705

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.

search
navigation
  1. DSpace at University of West Bohemia
  2. Vysokoškolské kvalifikační práce / Theses
  3. Fakulta aplikovaných věd / Faculty of Applied Sciences
  4. Katedra fyziky / Department of Physics
  5. Diplomové práce / Theses (KFY)