| Title: | Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N |
| Other Titles: | Pulsed magnetron deposition of Zr-Si-B-C-N thin films |
| Authors: | Vytisk, Tomáš |
| Advisor: | Vlček, Jaroslav |
| Referee: | Baroch, Pavel |
| Issue Date: | 2012 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | bakalářská práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/3718 |
| Keywords: | Tenké vrstvy; magnetronová depozice; naprašování; Zr-Si-B-C-N; mechanické vlastnosti; rezistivita; oxidační odolnost |
| Keywords in different language: | Thin films; magnetron deposition; sputtering; Zr-Si-B-C-N; mechanical properties; resistivity; oxidation resistance |
| Abstract: | Tato práce popisuje současnou problematiku tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Ukazuje jakých výsledků se do této doby dosáhlo a jaké jsou další možnosti. V další části práce jsou popsány metody tvorby tenkovrstvých systémů zejména pulzní magnetronová depozice. Dále pak metody studia a hodnocení vlastností vrstev (Mechanické, elektrické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev za vysokých teplot). V závěru práce jsou prezentovány výsledky, kterých bylo dosaženo při tvorbě Zr-Si-B-C-N vrstev. |
| Abstract in different language: | This work investigates current problems of thin films based on Zr and B4C. It shows present achievements and opportunities of this field of study. In next part of the work are described methods of deposition of thin films especially pulsed magnetron deposition. Furthermore methods of observation and study of properties of thin films are described. For example: mechanical and electrical properties and high temperature oxidation resistance. The results of deposition of Zr-Si-B-C-N are present at the end of the work. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Bakalarska prace Tomas Vytisk.pdf | Plný text práce | 2,12 MB | Adobe PDF | View/Open |
| Vytisk_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 296,02 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Vytisk_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 485,07 kB | Adobe PDF | View/Open |
| Vytisk_otazky.pdf | Průběh obhajoby práce | 202,52 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/3718Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.