| Title: | Reactive HiPIMS deposition of Al-oxide thin films using W-alloyed Al targets |
| Other Titles: | Reaktivní HiPIMS depozice tenkých vrstev oxidů hliníku s využitím Al terčů dopovaných W |
| Authors: | Kagerer, S. Zauner, L. Wojcik, T. Koloszvári, S. Kozák, Tomáš Čapek, Jiří Zeman, Petr Riedl, H. Mayrhofer, P.H. |
| Citation: | KAGERER, S. ZAUNER, L. WOJCIK, T. KOLOSZVÁRI, S. KOZÁK, T. ČAPEK, J. ZEMAN, P. RIEDL, H. MAYRHOFER, P. Reactive HiPIMS deposition of Al-oxide thin films using W-alloyed Al targets. Surface and Coatings Technology, 2021, roč. 422, č. 25 SEP 2021, s. "127467-1" - "127467-10". ISSN: 0257-8972 |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Elsevier |
| Document type: | článek article |
| URI: | 2-s2.0-85110752168 http://hdl.handle.net/11025/45429 |
| ISSN: | 0257-8972 |
| Keywords: | R-HiPIMS depozice;oxid hlinitý;oxidace terče;polymorfní struktury |
| Keywords in different language: | R-HiPIMS deposition;Alumina;Target poisoning;Polymorph structures |
| Abstract: | Článek detailně zkoumá vliv 2 at. % wolframu v hliníkovém terči na stabilitu procesu a fázové složení vrstev Al2O3 při DC magnetronovém naprašování a HiPIMS naprašování. Malá příměs W do Al terče dovoluje zvýšit parciální tlak kyslíku o více než 200 % při zachování stabilního depozičního procesu. Výsledky hmotnostní spektroskopie iontů ukazují vysoký podíl kyslíkových iontů ve výboji pro depozice uskutečněné v přechodovém režimu reaktivního výboje. Detailní analýza pomocí elektronového mikroskopu ukazuje přítomnost kovových fází ve vrstvách připravených s vyšší střídou pulzů (7,5 %). Snížení střídy na 3,75 % vede k vytvoření amorfních vrstev, jakmile je depozice udržována v kovovém módu při nejvyšším možném parciálním tlaku kyslíku. |
| Abstract in different language: | We investigated in detail the influence of 2 at.% tungsten in the Al-target on the process stability and phase formation during reactive DC magnetron sputtering as well as high power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of Al2O3-based coatings. The small addition of W to the Al target allows to increase the oxygen partial pressure by more than 200% while maintaining a stable deposition process. Ion mass spectroscopy measurements yield a promising high fraction of oxygen ions, when operating the W-containing target in the metal-to-poisoned transition mode. Detailed electron microscopy investigations show the presence of metallic phase fractions for higher duty cycles (7.5%). Decreasing the duty cycle to 3.75% leads to amorphous coatings when operating the Al-target at the highest oxygen partial pressure in metallic mode. |
| Rights: | © autoři |
| Appears in Collections: | Články / Articles (NTIS) OBD |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| OBD21_Kozak,Capek,Zeman_clanek.pdf | 7,5 MB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/45429Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.