| Title: | Vysokoteplotní vrstvy Si-B-C-N a multifunkční vrstvy (Zr)-B-C-(N) připravené pulzním magnetronovým naprašováním |
| Other Titles: | High-temperature Si-B-C-N coatings and multifunctional (Zr)-B-C-(N) coatings prepared by pulsed magnetron sputtering |
| Authors: | Steidl, Petr |
| Advisor: | Vlček, Jaroslav |
| Issue Date: | 2015 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | disertační práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/20651 |
| Keywords: | si-b-c_n;zr-b-c_n;magnetronové naprašování;nanokrystalické tenké vrstvy;vysokoteplotní stabilita;hr-tem;tga;pulzní naprašování |
| Keywords in different language: | si-b-c_n;zr-b-c-n;magnetron sputtering;nanocrystaline coatings;high-temperature resistance;hr-tem;tga;pulsed sputtering |
| Abstract: | První část dizertační se zabývá podrobnou studií mikrostruktury a mechanických a optických vlastností vrstev Si-B-C-N připravených reaktivní pulzní magnetronovou depozicí a následně žíhaných až do 1700°C ve vzduchu a inertních plynech. Druhá část dizertační práce je zaměřena na přípravu a studium vlastností vrstev (Zr)-B-C-(N). Pulzní reaktivní magnetronové naprašování při frekvenci pulzů 10 kHz s konstantním poměrem t 1 /T = 0,85, tedy při délce napěťového pulzu 85 us se ukázalo jako vhodná technika pro reprodukovatelnou přípravu vysoce kvalitních vrstev Zr-B-C-N s hladkým povrchem (průměrná drsnost Sa < 4 nm) bez defektů a dobrou adhezí k substrátům. |
| Abstract in different language: | The first part of the thesis is focused on the detailed study of the microstructure and mechanical and optical properties of Si-B-C-N films prepared by reactive pulsed magnetron sputtering and consequently treated in air and inert gases up to 1700°C. The second part of the thesis is focused on the preparation and study of properties of (Zr)-B-C-(N) films. A pulsed reactive magnetron sputtering at a repetition frequency of pulses of 10 kHz with a fixed 85 % duty cycle, i.e. at a voltage pulse duration of 85 us, was found to be a suitable technique for a reproducible fabrication of high-quality defect-free Zr-B-C-N films with smooth surfaces (the average roughness Sa < 4 nm) and good adhesion to substrates. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
| Appears in Collections: | Disertační práce / Dissertations (KMA) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Dizertacni prace - Petr Steidl.pdf | Plný text práce | 18,54 MB | Adobe PDF | View/Open |
| oponent-posudky-odp-steidl.pdf | Posudek oponenta práce | 2,95 MB | Adobe PDF | View/Open |
| obhajoba-protokol-odp-steidl.pdf | Průběh obhajoby práce | 828,46 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/20651Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.