Title: | Optimalizace naprašovaných ZnO:Al vrstev pro flexibilní nanogenerátor napětí |
Authors: | Němec, Josef |
Advisor: | Novák Petr, Ing. Ph.D. |
Issue Date: | 2017 |
Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
Document type: | bakalářská práce |
URI: | http://hdl.handle.net/11025/27350 |
Keywords: | transparentní vodivé oxidy;tenké vrstvy zno:al;elektrické vlastnosti;optické vlastnosti;strukturní vlastnosti;nanogenerátor napětí;magnetronové naprašování |
Keywords in different language: | transparent conductive oxides;zno:al thin films;electrical properties;optical properties;structural properties;nanogenerator;magnetron sputtering |
Abstract: | Hlavním cílem této práce je optimalizovat depozici ZnO:Al vrstev tak, aby mohly nahradit vrstvu ITO ve flexibilním nanogenerátoru napětí. V úvodu je popsán flexibilní nanogenerátor napětí na bázi ZnO nanostruktur. Dále je popsána problematika transparentních vodivých oxidů (TCO), jejich elektrické a optické vlastnosti a charakterizován je vybraný materiál: oxid zinečnatý dopovaný hliníkem. Předmětem experimentu je analýza vlivu nevodivé mezifázové vrstvy na vlastnosti vrstev AZO a analýza vzorků vytvořených současným naprašováním ze dvou terčů, kde je zkoumán vliv koncentrace kyslíku ve vrstvách na jejich vlastnosti. |
Abstract in different language: | The main aim of this work is to optimize the deposition of ZnO:Al layer so that it can replace the ITO layer in the flexible nanogenerator. There is described a flexible nanogenerator based on ZnO nanostructures in the introduction. In the next part are described the transparent conductive oxides (TCOs), their electrical and optical properties and the selected material: aluminium dopped zinc oxide. The subject of the experimental part is to analyze the influence of the non-conducting interfacial layer on the properties of AZO layers and to analyze the samples created by co-sputtering from two targets, where the influence of the concentration of oxygen in the layers on their properties is investigated. |
Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KMM) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
BP_JosefNemec.pdf | Plný text práce | 1,97 MB | Adobe PDF | View/Open |
hodnoceni - NEMEC.pdf | Posudek vedoucího práce | 927,06 kB | Adobe PDF | View/Open |
Posudek - NEMEC.pdf | Posudek oponenta práce | 248,78 kB | Adobe PDF | View/Open |
BK - NEMEC.pdf | Průběh obhajoby práce | 595,96 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/27350
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.