Title: | Elektronická vyhodnocovací jednotka pro vakuovou měrku |
Other Titles: | Electronic Evaluation Unit for Vacuum Gauge |
Authors: | Bečka, Jaroslav |
Advisor: | Freisleben, Jaroslav Freisleben, Jaroslav |
Referee: | Kuberský, Petr |
Issue Date: | 2013 |
Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
Document type: | bakalářská práce |
URI: | http://hdl.handle.net/11025/8245 |
Keywords: | vakuum;vakuová měrka;fyzikální depozice z plynné fáze;měření tlaku;vyhodnocovací jednotka |
Keywords in different language: | vacuum;vacuum gauge;physical vapor deposition;pressure measurement;evaluation unit |
Abstract: | Tato práce se zabývá konstrukcí vyhodnocovací jednotky pro vakuovou měrku. V první části jsou vysvětleny obecné pojmy z oblasti tlaku a vakua. Jsou zde rovněž zmíněny používané jednotky tlaku. Dále jsou rozebírány způsoby vytváření tenkých vrstev s důrazem na fyzikální depozici z plynné fáze. Další část je zaměřena na různé principy měření vakua. Poté je popsána vakuová měrka Pfeiffer PKR 251. Hlavní částí práce je popis konstrukce, schématu zapojení, mikrokontroléru a principu funkce vyhodnocovací jednotky. |
Abstract in different language: | This work deals with the construction of evaluation unit for vacuum gauge. In the first section there are explained general concepts from the field of pressure and vacuum. There are also mentioned commonly used pressure units. Next, thin film methods are discussed with an emphasis on physical a vapour deposition. Another section is focused on different principles of vacuum measurement. Then the Pfeiffer PKR 251 vacuum gauge is described. The main part is the description of construction, circuit diagram, microcontroller and the function principle of evaluation unit. |
Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KAE) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
BeckaJ -Elektronicka vyhodnocovaci jednotka pro vakuovou merku.pdf | Plný text práce | 33,74 MB | Adobe PDF | View/Open |
053487_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 318,88 kB | Adobe PDF | View/Open |
053487_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 314,12 kB | Adobe PDF | View/Open |
053487_hodnoceni.pdf | Průběh obhajoby práce | 152,98 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/8245
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
search
navigation