Title: | Tenkovrstvé procesy v elektronice |
Other Titles: | Thin-film processes in electronics |
Authors: | Fejt, Martin |
Advisor: | Řeboun, Jan |
Referee: | Štulík, Jiří |
Issue Date: | 2012 |
Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
Document type: | bakalářská práce |
URI: | http://hdl.handle.net/11025/4003 |
Keywords: | tenké vrstvy;depozice;napařování;naprašování;vývěvy;substráty;uhlík;hliník;zlato;argon;magnetron |
Keywords in different language: | thin layers;deposition;evaporation;shuttering;vacuum pump;substrate;carbon;aluminum;gold;argon;magnetron |
Abstract: | Bakalářská práce je zaměřena na tenkovrstvé procesy v elektrotechnice. Jedná se o velice důležitou a rozšířenou oblast, která zasahuje velké spektrum aplikací, od výroby samostatných součástek až po integrované obvody. V práci jsou popsány postupy pro vytváření tenkých vrstev včetně zařízení k tomu potřebných, jako jsou vývěvy, vakuoměry a další. V poslední části práce jsou popsány výsledky experimentu provedeného za účelem bližšího pochopení problematiky a ověření předpokladů. |
Abstract in different language: | The bachelor thesis is focused on thin-film processes in electronics. This filed of electronics is very important and widely applied. Such as manufacturing electric components or integrated circuits. Necessary devices like vacuum pumps, vacuum gauges and etc. are described including procedures of depositing thin layers. The results of experiment made for betted understanding and validation of expected hypothesis is located in the last part of my thesis. |
Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení. |
Appears in Collections: | Bakalářské práce / Bachelor´s works (KAE) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
BP - Martin Fejt.pdf | Plný text práce | 1,84 MB | Adobe PDF | View/Open |
040640_vedouci.pdf | Posudek vedoucího práce | 310,92 kB | Adobe PDF | View/Open |
040640_oponent.pdf | Posudek oponenta práce | 310,56 kB | Adobe PDF | View/Open |
040640_hodnoceni.pdf | Průběh obhajoby práce | 123,81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/4003
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
search
navigation