| Title: | Depozice funkčních tenkovrstvých materiálů pomocí pokročilých naprašovacích technik |
| Other Titles: | Deposition of functional thin-film materials by advanced sputtering techniques |
| Authors: | Batková, Šárka |
| Issue Date: | 2021 |
| Publisher: | Západočeská univerzita v Plzni |
| Document type: | disertační práce |
| URI: | http://hdl.handle.net/11025/52934 |
| Keywords: | ta-o-n;oxynitrid tantalu;rozklad vody;vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování;hipims;bipolární hipims;nanočástice;magnetronový agregační zdroj;výstupní štěrbina |
| Keywords in different language: | ta-o-n;tantalum oxynitride;water splitting;high-power impulse magnetron sputtering;hipims;bipolar hipims;nanoparticles;gas-aggregation source;exit orifice |
| Abstract: | Materiály ze systému Ta-O-N nabízejí velice slibné vlastnosti pro produkci vodíku rozkladem vody aktivovaným světlem. Tato disertační práce se zabývá přípravou a systematickým výzkumem vrstev Ta-O-N s velmi jemně laděným prvkovým složením. Protože by mělo být možné ještě dále vylepšit funkčnost materiálu vylepšením jeho struktury a přidáním nanočástic, byly dále zkoumány i pokročilé magnetronové depoziční techniky: (a) bipolární HiPIMS a jeho vliv na strukturu a vlastnosti rostoucí vrstvy a (b) magnetronový agregační zdroj nanočástic a možnost kontroly jejich velikosti. |
| Abstract in different language: | Materials from the Ta-O-N system offer very promising properties in terms of hydrogen production via light-induced water splitting. This Ph.D. thesis deals with the preparation and systematic investigation of Ta-O-N films with very finely-tuned elemental composition. Because it should be possible to even further enhance the water splitting performance in future research by tuning of the material structure and by addition of nanoparticles, advanced magnetron-based deposition techniques were also investigated: (a) bipolar HiPIMS and its effects on the structure and properties of the prepared films and (b) magnetron-based gas-aggregation source of nanoparticles and the possibility of nanoparticle size control. |
| Rights: | Plný text práce je přístupný bez omezení |
| Appears in Collections: | Disertační práce / Dissertations (KFY) |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Disertace_Batkova.pdf | Plný text práce | 15,08 MB | Adobe PDF | View/Open |
| posudky-odp-batkova.pdf | Posudek oponenta práce | 141,42 kB | Adobe PDF | View/Open |
| protokol-odp-batkova.pdf | Průběh obhajoby práce | 290,92 kB | Adobe PDF | View/Open |
Please use this identifier to cite or link to this item:
http://hdl.handle.net/11025/52934Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.